Thesis supervisor: Gyula Hermann
Location of studies (in Hungarian): Óbudai Egyetem Abbreviation of location of studies: ÓE
Description of the research topic:
Az elmúlt időszakban a pásztázó alagút és atomerő mikroszkópok egyre nagyobb szerepet játszanak a mikromechanikai elemek méréstechnikájában. Mérési bizonytalanságukban meghatározó tapintást végző tű geometriája, illetve annak eltérése a működés szempontjából ideális alaktól. Tekintve, hogy az ideális alakú tű hegye egy atomnyi és pontosan kúp alakú ennek meghatározása a mai eszközökkel gyakorlatilag nem lehetséges. Ezért a mérési hiba kompenzálása, és ebből kifolyólag a mérési bizonytalanság meghatározása becslésre, valamint speciális geometriai modellezési eljárásokra épül.