témavezető: Kerecsenné Rencz Márta
helyszín (magyar oldal): Elektronikus Eszközök Tanszék helyszín rövidítés: EET
A kutatási téma leírása:
A mikro-elekro-mechanikai rendszerek (MEMS) ma az elektronikai rendszerek alapvető építőelemei, különösen a járműiparban és a bioelektronikában. Előállításuk során jelentős mértékben alkalmazzák a mikroelektronika gyártási tapasztalatait és az ott felhalmozódott eszközfizikai, méréstechnikai és technológiai tudást. Mivel a mikrorendszerek fajtái igen szerteágazóak, sem az érzékelők, sem pedig a beavatkozók előállítása nem jutott el a mikroelektronika szabványosítási szintjére és általában előállításuk sem kompatíbilis a jelfeldolgozó áramkörökével, ami jelentős megbízhatósági problémákhoz vezet.
A MEMS eszközök széleskörű használatának egyik kulcskérdése, hogy megbízhatóságuk az elektronikai áramkörökhöz hasonlóan nagy legyen. Ennek érdekében tanulmányozni és tesztelni kell a MEMS struktúrákat és a tapasztalatok alapján olyan új tesztelési eljárásokat és eszközöket kell tervezni, ami megfelel a korszerű megbízhatósági követelményeknek. Módszereket és eljárásokat kell kidolgozni az egyes kritikus paraméterek vizsgálatára.
A jelölt feladatai:
MEMS struktúrák megbízhatósági paramétereinek összegyűjtése és tanulmányozása
A gyakorlatban már létező, különböző megbízhatósági tesztmódszerek megismerése
A megbízhatóra való tervezés (Design for Reliability) kérdéseinek vizsgálata.
Új MEMS megbízhatósági tesztek megtervezése és elvégzése különböző struktúrákon
előírt nyelvtudás: angol további elvárások: Önállóság és kísérletezői beállítottság