témavezető: Csikósné Pap Andrea Edit
helyszín (magyar oldal): MTA EK Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet helyszín rövidítés: MTA
A kutatási téma leírása:
A mechanikai mikroérzékelő szerkezetekben a deformációs változások mérésére többféle módszer ismeretes. A piezorezisztív elven történő deformációmérés a lassú változások követésére alkalmasabb, míg a piezoelektromos kiolvasás egyik legfontosabb előnye a gyors változások energiaforrás nélküli detektálása. Piezoelektromos vékonyrétegek strukturált kialakítása és alkalmazása új lehetőségeket nyit meg szilíciumra integrált mikroerőmérők és beavatkozók széles családjának megvalósítására is. Mikrotechnológia laboratórium feladatai között szerepel a piezoelektromos kiolvasási elv magvalósítása a 3D mikroerőmérő eszközökben és az ilyen szenzorok orvosbiológia alkalmazása.
A jelen kutatás-fejlesztési munka kapcsolódik európai uniós projekthez is.
A jelölt feladatai:
A MFA Mikrotechnológai laboratóriumában folyó MEMS eszközök kutatás-fejlesztéséhez kapcsolódva a piezoelektromos kiolvasás kidolgozása 3D erőmérőkben. A piezorezisztív és piezoelektromos jelátalakítású mikroérzékelők megvalósítása, szerkezeti és funkcionális minősítése és optimalizálása. Részvétel a szenzorcsalád fejlesztésében, a lehetséges alkalmazási módok vizsgálata.