témavezető: Hermann Gyula
helyszín (magyar oldal): Óbudai Egyetem helyszín rövidítés: ÓE
A kutatási téma leírása:
Az elmúlt időszakban a pásztázó alagút és atomerő mikroszkópok egyre nagyobb szerepet játszanak a mikromechanikai elemek méréstechnikájában. Mérési bizonytalanságukban meghatározó tapintást végző tű geometriája, illetve annak eltérése a működés szempontjából ideális alaktól. Tekintve, hogy az ideális alakú tű hegye egy atomnyi és pontosan kúp alakú ennek meghatározása a mai eszközökkel gyakorlatilag nem lehetséges. Ezért a mérési hiba kompenzálása, és ebből kifolyólag a mérési bizonytalanság meghatározása becslésre, valamint speciális geometriai modellezési eljárásokra épül.