Thesis supervisor: Márta Kerecsenné Rencz
Location of studies (in Hungarian): Elektronikus Eszközök Tanszéke Abbreviation of location of studies: EET
Description of the research topic:
A Micro Electro-Mechanical-Systems (MEMS) alkalmazása területén napjainkban ugrásszerű fejlődés indult meg. Előállításuk során jelentős mértékben alkalmazzák a mikroelektronika gyártási tapasztalatait és az ott felhalmozódott eszközfizikai, méréstechnikai és technológiai tudást. Mivel a mikrorendszerek fajtái igen szerteágazóak, sem az érzékelők, sem pedig a beavatkozók előállítása nem jutott el a mikroelektronika szabványosítási szintjére és általában előállításuk sem kompatíbilis a jelfeldolgozó áramkörökével, ami jelentős megbízhatósági problémákhoz vezet.
A MEMS eszközök széleskörű elterjesztésének egyik kulcskérdése, hogy a mikrorendszerek megbízhatósága a mikroáramkörökhöz hasonlóan nagy legyen. Ennek érdekében tanulmányozni és tesztelni kell a MEMS struktúrákat és a tapasztalatok alapján olyan MEMS struktúrát kell tervezni, ami megfelel a korszerű megbízhatósági követelményeknek. További MEMS megbízhatósági teszteket kell kidolgozni az egyes kritikus paraméterek vizsgálatára.
A jelen kutatási fejlesztési munka egy ezzel a témával foglalkozó európai uniós projecthez kapcsolódik.
A jelölt feladatai:
MEMS struktúrák megbízhatósági paramétereinek összegyűjtése és tanulmányozása
A gyakorlatban már létező, különböző megbízhatósági tesztmódszerek megismerése
A megbízhatóra való tervezés (Design for Reliability) kérdéseinek vizsgálata.
Új MEMS megbízhatósági tesztek megtervezése és elvégzése különböző struktúrákon
Recommended language skills (in Hungarian): angol Number of students who can be accepted: 1